文前言根据住房城乡建设部《关于印发2016年工程建设标准规范制订、修订计划的通知》（建标函〔2015）274号)的要求，标准编制组经广泛调查研究，认真总结实践经验，参考有关国际标准和国外先进标准，并在广泛征求意见的基础上，编制了本标准本标准主要技术内容：总则术语，总体设计，工艺设计，基本工艺，工艺设备配置，建筑与结构，公用设施，电气设计，环境保护节能与安全设施等。本标准由住房城乡建设部负责管理。本标主编位：工业和信息化部电子工业标准化研究院（地址，北京市东城区安定门东大街号，邮政编码：100007)中国电子科技集团公司第五十五研究所编单位：中国电子科技集团公司第二研究所中国电子科技集团公司第十四研究所中国电子科技集团公司第二十九研究所中国电子科技集团公司第四十三研究所中国航天科技集团公司五院西安分院中国兵器工业集团公司第二一四研究所中国电子工程设计院有限公司南京市建筑设计研究院有限责任公司信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司本标准主要起草人员：刘玉根薛长立间诗源晁宇晴吴希全夏庆水程凯何中伟桥伟王从香居进秦跃利陆吟泉李鸿高文平本标准主要审查人员：沈先锋顾晓春杨智良管雯江诗兵夏双练徐仁春沈元明住房城乡建设部信息公宋泽润浏览专用方方订万文方万总则2术语3总体设计3.1般规定3.2厂址选择3.3总图规划及布局工艺设计艺流程设计4.2工艺区划基本工艺5.1般规定文5.2基板准备5.3镀膜工艺5.光刻工艺5.5电镀工艺95.6刻蚀工艺(105.7激光调阻工艺(105.8激光打孔工艺(115.9划片工艺(11)5.10测试工艺(126工艺设备配置(14)6.1般规定(146.2基板准备工艺设备(146.3镀膜工艺设备(15