CCS F 010831上海市地方标准DB31/506-2020代替DB31/506-2010集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额The norm of energy consumption per unit product of wafer fabrication inintegrated circuits地方标准信息服务平台2020-09-25发布2020-12-01实施上海市市场监督管理局发布地方标准信息服务平台DB31/506—2020前言本文件4.1、4.2为强制性的，其余为推荐性的。本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。本文件代睿DB31/506一2010《集成电路晶圆制造能耗限额》。本文件与DB31/506一2010相比，除编辑性修改外主要技术变化如下：a)修改了计算方法（见第5章，2010年版的第4章）：b)修改了集成电路晶圆制造能耗限额，改为技术要求（见第4章，2010年版的第5章、第6章）。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由上海市发展和改革委员会、上海市经济和信息化委员会共同提出，由上海市经济和信息化委员会组织实施。本文件由上海市能源标准化技术委员会归口。本文件起草单位：上海市集成电路行业协会、上海市能效中心、上海华虹宏力半导体制造有限公司、中芯国际集成电路制造（上海）有限公司、上海华力微电子有限公司、台积电（中国）有限公司、上海先进半导体制造有限公司、上海新进半导体制造有限公司、上海新进芯微电子有限公司。本文件主要起草人：陶金龙、闵钢、秦宏波、石建宾、杨晓春、张大炜、范晶、姚弘珏、翟静、陈勇、陈继红。本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为：-DB31/506-2010.地方标准信息服务平台I